克日，Vsport体育 光电装备股分无限公司（简称“Vsport体育 光电”）纳米级图形晶圆缺点光学检测装备（NanoPro-150）再次托付客户，标记着Vsport体育 光电在半导体前道图形晶圆检测装备市场化道路上阔步前行。

      前道图形晶圆检测装备是半导体芯片制作进程中的焦点装备之一，手艺门坎高，难度大，是检测装备的主疆场。这次托付用户的NanoPro-150产物活络度系纳米级序列，充实知足半导体芯片90nm及以上产线制作工艺需要。本次托付的装备将用于国际功率半导体头部公司的量产线，加上后期该型号装备已在功率半导体着名企业产线持久量产利用，标明该产物尤其遭到功率半导体公司的喜爱和接待。

      NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端产物，除与国际顶尖公司同类产物在活络度、检出速率等首要机能参数附近外，还开辟和引入了很多进步前辈的AI算法和软件，进一步进步了信噪比，明显晋升了装备在关头制程的缺点检测活络度和检出率。同时，该产物完成了紧密光电机关头焦点部件的国产化和自立可控，为产物的量产和稳产奠基了坚固根本。

      Vsport体育 光电是国际半导体及泛半导体前道图形缺点检测装备的领军企业，也是国度专精特新 “小伟人” 企业、国度常识产权上风企业，有着丰硕的手艺堆集和完整的自立产权。在曩昔十多年的运营中，公司的亚微米级和微米级装备累计发卖逾350台，持久不变地运转在浩繁量产线中。公司今朝进入发卖和量产的NanoPro-1XX系列产物和MDI亚微米检测装备，加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX行将前后进入市场，可望笼盖国际半导体前道检测装备需要市场的90%以上，给中国半导体产业检测装备的国产化描画出一片光亮远景。